日本applics監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體制造工藝臭氧濃度計(jì) OM-101-01 特點(diǎn)介紹

OM-101型系列是用于監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體制造工藝等中使用的添加臭氧的超純水中溶解臭氧濃度的計(jì)量器。安裝簡(jiǎn)單，不占用空間，操作性優(yōu)良

小型輕量變換器，檢測(cè)器分離型變換器DIN 96×采用96mm面板安裝型。

內(nèi)聯(lián)式檢測(cè)器無(wú)需繁瑣的采樣工作。由于是連續(xù)測(cè)量，因此可以實(shí)時(shí)確認(rèn)濃度。

操作性結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作極為簡(jiǎn)單。

輸出4～20mA測(cè)量值輸出，上、下限的警報(bào)輸出均為標(biāo)準(zhǔn)配置。

產(chǎn)品名稱溶解臭氧濃度計(jì)分離式（低濃度）

模型OM-101-01

測(cè)量范圍0～1mg/L

測(cè)量方法紫外線吸收法

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備輸出DC4~20mA輸出/報(bào)警輸出（上限/下限1a接點(diǎn)）

評(píng)論藍(lán)寶石規(guī)格可選電源：AC100V

日本applics監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體制造工藝臭氧濃度計(jì) OM-101-01 規(guī)格參數(shù)

分離型低濃度用溶解臭氧計(jì)型式OM-101-01測(cè)定方法紫外線吸光度法測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)范圍0～1mg/L（最小顯示0.01mg/L）表示3位數(shù)LED傳輸輸出信號(hào)DC4～20mA絕緣型負(fù)載電阻600Ω以下直線性±4%FS以內(nèi)重復(fù)性±2%FS以內(nèi)穩(wěn)定性零漂移…+/-4%FS/月以內(nèi)的跨度漂移…±4%FS/月內(nèi)響應(yīng)性90%響應(yīng)30秒內(nèi)（試樣流量為100mL/min）凝膠校正無(wú)臭氧水通水，通過(guò)零修整器調(diào)整水泵校準(zhǔn)基于樣品手分析值的方法，或使用內(nèi)置校準(zhǔn)刻度盤的方法樣品水條項(xiàng)目流量…50～120mL/min范圍內(nèi)的恒定流量/壓力…0.3MPa（3.0Kgf/cm2）以下/溫度…15～40°C光源壽命約10000小時(shí)警報(bào)觸點(diǎn)輸出警報(bào)設(shè)定...上下各前面板修剪器設(shè)定